उत्पाद का नाम: ज़िरकोनियम स्पटरिंग लक्ष्य
सामग्री ग्रेड: Zr702 (एएसटीएम B493 ग्रेड R60702)
शुद्धता ग्रेड: 99.95% (3एन5) धातु-आधारित (एचएफ-मुक्त)
मुख्य अनुप्रयोग: उन्नत अर्धचालक पैकेजिंग, ऑप्टिकल कोटिंग, सौर सेल बैक इलेक्ट्रोड, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक इंटरकनेक्ट परत (पीवीडी प्रक्रिया)
विनिर्माण मानक: एएसटीएम बी493/बी493एम-14 (ज़िरकोनियम और ज़िरकोनियम मिश्र धातु फोर्जिंग के लिए विशिष्टता) और एसईएमआई एम13-1102 (स्पटरिंग लक्ष्य के लिए सामान्य विशिष्टता) का अनुपालन करता है।
ज़िरकोनियम स्पटरिंग लक्ष्य का सैद्धांतिक घनत्व 6.51 ग्राम/सेमी³ है, इसका घनत्व 99.0% से अधिक या उसके बराबर है, इसकी तापीय चालकता 22.6 W/m·K है, और इसके तापीय विस्तार का गुणांक (20-300 डिग्री) 5.7 × 10⁻⁶ /K है। ये पैरामीटर मानक एनील्ड अवस्था में उच्च शुद्धता वाले Zr702 लक्ष्यों के लिए मापे गए मान हैं, जो उच्च शक्ति DC/RF मैग्नेट्रोन स्पटरिंग अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त हैं, और 99.9% शुद्धता वाली सामग्री से बेहतर थर्मल स्थिरता प्रदर्शित करते हैं।
उत्पाद की सतह की गुणवत्ता और सूक्ष्म संरचना आवश्यकताएँ:
अनाज का आकार: 50 माइक्रोन (औसत) से कम या उसके बराबर, ईबीएसडी (इलेक्ट्रॉन बैकस्कैटर विवर्तन) द्वारा मापा जाता है, अनाज के आकार के वितरण का मानक विचलन 15 माइक्रोन से कम या उसके बराबर होता है।
सतह खुरदरापन (आरए): 0.8 माइक्रोन से कम या उसके बराबर, 3डी ऑप्टिकल प्रोफिलोमीटर (आईएसओ 4287) का उपयोग करके मापा जाता है, जो खरोंच, इंडेंटेशन और गड्ढों से मुक्त होता है।
Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 मिमी² अस्वीकृत किया गया है।
सूक्ष्म संरचना: एकसमान समअक्षीय -चरण संरचना। SEM (500× आवर्धन), छिद्रों, समावेशन और पृथक्करण से मुक्त।
सभी लक्ष्यों को गर्म आइसोस्टैटिक दबाव (एचआईपी) द्वारा सघन किया जाता है ताकि अनाज सीमा बंधन शक्ति 180 एमपीए से अधिक या उसके बराबर सुनिश्चित हो सके, 500 घंटे से अधिक या उसके बराबर निरंतर स्पटरिंग के बाद कोई प्रदूषण विफलता की आवश्यकता को पूरा किया जा सके।
ज़िरकोनियम स्पटरिंग लक्ष्य (जीएचएस और आईईसी अनुरूप) के लिए पैकेजिंग और शिपिंग विशिष्टताएँ:
आंतरिक पैकेजिंग: वैक्यूम सीलबंद (1×10⁻³ एमबार से कम या उसके बराबर) + एएसटीएम एफ2095 के अनुरूप उच्च -शुद्धता वाले आर्गन (99.999%) से भरा हुआ।
बाहरी पैकेजिंग: डबल {{0}परत नमी - प्रूफ एल्यूमीनियम पन्नी बैग + ईपीई कुशनिंग फोम + लकड़ी का टोकरा (आईएसपीएम -15 अनुरूप), आईईसी 60068-2-78।
नमी संरक्षण लेबल: नमी प्रमाण + आर्द्रता संकेतक कार्ड (5% आरएच से कम या उसके बराबर), आईईसी 60068-2-30 के अनुरूप।
एमएसडीएस/एसडीएस: जीएचएस 7वें संशोधन के अनुरूप, जिसमें 16 मानक खंड शामिल हैं, जिसमें जेडआर धूल विस्फोट जोखिम (पी201, पी261, पी304+340), ओएसएचए 29 सीएफआर 1910.1200 शामिल हैं। शिपिंग लेबल: यूएन 1399 (गैर - ज्वलनशील ठोस धातु) + संक्षारक पदार्थ।
प्रत्येक बॉक्स में एक डेसिकेंट पैकेट (सिलिका जेल) और एक आर्द्रता रिकॉर्डर शामिल है। पूरे परिवहन के दौरान तापमान नियंत्रण: 5-30 डिग्री, सापेक्षिक आर्द्रता 40% से कम या उसके बराबर।
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